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無塵室的溫濕度控制的具體措施有哪些？

2021.05.19 1215

       無塵室的溫濕度主要是根據客戶的加工工藝要求而定，在滿足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于對空氣清潔度的要求越來越高，工藝要求溫度和濕度越來越高。

       無塵室的溫濕度主要是根據客戶的加工工藝要求而定，在滿足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于空氣清潔度要求的提高，工藝過程對溫度和濕度的要求越來越高，需要達到一定的溫度和濕度等級。比如，在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，對作為掩膜材料的硅片和玻璃的熱膨脹系數的要求差別越來越小。硅片直徑100um，溫度升高1度，造成0.24um線性膨脹，因此一定要有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般要低，因為人出汗后，產品會受到污染，尤其是半導體車間怕鈉，這車間溫度不宜超過25度。

       潮濕會引起更多的問題。當相對濕度超過55%時，冷卻管壁會結露，如果準確設備或線路發生故障，會引起各種事故。相對濕度50%時容易發生銹蝕。無塵室的溫濕度控制具體有哪些措施？

       但是，對大多數清潔空間來說，為了防止外界污染的侵入，必使內部壓力(靜壓力)高于外部壓力。維持壓差應一般符合下列原則：

1、在潔凈度等級高的場所，壓力比在鄰近的潔凈度等級低的場所高。

2、兩間相通的潔凈室之間的門應向高潔凈度房間敞開。

3、潔凈室的壓力比非潔凈室高。

       壓差的維持依賴于新風量，新風量可以補償在此壓差下從空隙中漏出的風量。因此，壓差的物理含義是阻力，即通過無塵室各種縫隙的漏風(或滲漏)。

       對亂流潔凈室由于主要依靠空氣的稀釋作用減輕室內污染程度，因此主要采用換氣次數概念，而不是直接采用流速概念，但對室內氣流流速也有以下要求：

1、送風口出口氣流速度不能太大，與單純的空調房相比，需要較快的速度衰減和較大的擴散角度。

2、吹過水平面的氣流速度(如側送時的回流速度)不應過大，以免使表面顆粒重新進入到氣流中，造成再污染，這種速度一般不應過大，0.2m/s。